晶圆搬运开云手机官网入口(中国)开云有限公司

■符合 SEMNI-F47 和 SEMI-S2 标准，无需走行装置即可应对至多4FOUP规格EFEM。

NTJ 系列

■通过川崎研发的驱动构造，实现高精度且流畅的动作。

TTJ 系列

■采用伸缩结构，可兼顾向低位传递和向高位输送。

NTH系列

■通过手臂旋转中心后移实现了长手臂、无需走行装置即可应对4FOUP。

NX系列

■通过紧凑的手臂设计，可以节省安装空间。